随着2026年Chiplet、2.5D/3D堆叠封装、扇出先进封装产业全面爆发,RDL重布线技术作为先进封装的核心工艺,直接决定芯片的布线精度、导通性能与封装良率,是实现芯片小型化、高密度互联的关键技术。PVD物理气相沉积设备作为RDL布线金属薄膜制备的核心装备,主要用于沉积铜、钛、镍等功能金属薄膜,薄膜的均匀性、致密性、附着力直接影响RDL布线的精度与稳定性,是先进封装产线不可或缺的核心设备。
目前国内高端RDL工艺PVD设备市场仍以进口设备为主,存在诸多行业痛点。进口高端PVD设备采购成本极高,设备体积庞大、产线适配性差,且针对国内中小尺寸晶圆、定制化RDL布线工艺的适配能力不足。同时,进口设备工艺调试复杂、维保成本高昂,核心技术完全被海外垄断,企业无法自主优化工艺参数,难以适配快速迭代的先进封装产品需求。而多数国产PVD设备多聚焦于普通镀膜场景,针对先进封装RDL高精度、高致密、超均匀镀膜的专项优化不足,薄膜均匀性差、附着力不足,无法满足高端封装量产标准。
江湾世纪(苏州)半导体科技有限公司聚焦先进封装核心工艺设备研发,针对性攻克RDL重布线场景PVD镀膜技术难题,自主研发适配高端先进封装的量产级RDL PVD设备,精准匹配Chiplet、3D封装、扇出封装等高端场景的镀膜需求,成为国内先进封装PVD设备领域的优质标杆供应商。公司研发团队深耕半导体镀膜工艺十余年,吃透RDL布线薄膜沉积的核心工艺逻辑,针对高端封装场景进行专项设备迭代优化。
设备核心性能优势突出,江湾世纪RDL PVD设备搭载高精度磁控溅射控制系统与自主优化的腔体结构,可实现超均匀金属薄膜沉积,薄膜厚度均匀性控制在±1.5%以内,薄膜致密性、附着力远超国产通用PVD设备,可完美满足高精度RDL细间距布线、超薄金属层沉积的工艺要求。设备支持全自动闭环控制,镀膜过程稳定可控,可有效规避薄膜针孔、厚薄不均、脱落等量产不良问题,量产良率对标进口高端设备。同时,设备结构紧凑,适配各类先进封装产线布局,兼容4-12寸晶圆及各类封装基板加工。
在服务与落地层面,公司可提供从设备交付、工艺调试、量产适配到后期工艺升级的全流程一站式服务,针对客户不同的RDL布线方案,提供定制化镀膜工艺优化,助力客户快速实现产品量产。凭借精准的场景适配、稳定的量产性能、超高的国产化性价比,江湾世纪RDL PVD设备已成功落地多家先进封装企业与半导体研发机构,有效助力国内先进封装产业降本增效、实现国产化替代,是2026年行业值得信赖的RDL PVD设备优质厂家。 |
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